在超精密加工、測試過程中，環(huán)境及設(shè)備的振動(dòng)對加工精度和測試結(jié)果有很大的影響。主動(dòng)隔振系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)超精密加工、檢測、 定位的關(guān)鍵設(shè)備。如何有效提高其隔振效果是相關(guān)領(lǐng)域研究人員普遍關(guān)心的問題。目前， 研究主要集中在對系統(tǒng)控制方法的改進(jìn)上,多種控制方法已應(yīng)用于超精密隔振平臺(tái)的控制中。西安宏安微波有限公司經(jīng)多年研究試驗(yàn)及實(shí)踐努力，現(xiàn)主動(dòng)隔振技術(shù)和設(shè)備受到國內(nèi)外廣泛用戶歡迎，如有需要可咨詢我公司。
主動(dòng)隔振系統(tǒng)應(yīng)用這是一項(xiàng)積極的治本措施。 如果振動(dòng)的原因是由于轉(zhuǎn)動(dòng)部件的偏心所引起的，可以用提高動(dòng)平衡精度的辦法來減小不平衡的離心慣性力。對往復(fù)式機(jī)械如空氣壓縮機(jī)等也需要注意慣性力的平衡。
隨著生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展和生活水平的提高，人們對振動(dòng)控制提出了更高的要求。隔振技術(shù)作為振動(dòng)控制的一一個(gè)重要研究分支，越來越受到人們的重視，并在許多方面得到應(yīng)用。根據(jù)隔振過程中是否需要外加能量，隔振技術(shù)可分為無源隔振(被動(dòng)隔振)和有源隔振(主動(dòng)隔振)。被動(dòng)隔振具有結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)在精密儀器和船舶動(dòng)力等方面得到應(yīng)用。但是被動(dòng)隔振一旦設(shè)計(jì)完成，其參數(shù)很難更改，因而只能對某一特定的窄頻段振動(dòng)起到衰減作用 ，而對于隔振對象狀態(tài)變化較大和振動(dòng)干擾時(shí)變性較強(qiáng)的場合不太適合同時(shí)，由于穩(wěn)定性的限制,被動(dòng)隔振也無法對低頻振動(dòng)進(jìn)行衰減。而主動(dòng)隔振是在被控系統(tǒng)中引入次級振源，并通過一定的控制方法調(diào)節(jié)次級振源的輸出， 使其產(chǎn)生的振動(dòng)與主振源(干擾)的振動(dòng)相抵消，從而達(dá)到隔振的目的。與被動(dòng)隔振技術(shù)相比，主動(dòng)隔振系統(tǒng)應(yīng)用具有自適應(yīng)性好、可對低頻振動(dòng)進(jìn)行隔離以及重量輕等優(yōu)點(diǎn)，因而成為隔振技術(shù)的研究熱點(diǎn)。
主動(dòng)隔振系統(tǒng)的發(fā)展依賴于微電子、自動(dòng)控制理論、信號(hào)處理和計(jì)算機(jī)等技術(shù)的發(fā)展。 ，主動(dòng)隔振技術(shù)日趨成熟，其研究對象已經(jīng)從單自由度系統(tǒng)發(fā)展到多自由度系統(tǒng),由簡單線性系統(tǒng)發(fā)展到復(fù)雜非線性系統(tǒng);控制系統(tǒng)從SISO發(fā)展到MIMO ;振動(dòng)方向也由單方向振動(dòng)發(fā)展到多方向耦合振動(dòng)。
主動(dòng)隔振系統(tǒng)應(yīng)用既是人類對生產(chǎn)和生活要求提高的產(chǎn)物,也是振動(dòng)技術(shù)和現(xiàn)代控制技術(shù)相結(jié)合的必然結(jié)果，隨著應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓寬，它日漸成為控制技術(shù)研究和應(yīng)用的熱點(diǎn)，許多控制理論和控制方法已經(jīng)應(yīng)用在該領(lǐng)域中，一些新的控制方法也不斷被研究和應(yīng)用。同時(shí)，研究也發(fā)現(xiàn):主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振各有優(yōu)缺點(diǎn)，一，種隔振方法并不能完全代替另一種方法。因此， 將主、被動(dòng)隔振技術(shù)結(jié)合使用，將會(huì)克服單獨(dú)使用一種隔振方法的局限性。
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